微压电复合材料超声波探测器的制备及应用

• 作者: 山杉进 李以贵 毕贞法 王欢 颜平 黄远
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 超声波探测器 压电复合材料 微细加工工艺 超声波指向性
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 传感器应用
• 页码范围: 947-951
• 页数: 5页
• 分类号: TH89
• 字数: 2241字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2016.06.026

摘要

基于微细加工工艺，设计并制备了一种指向性良好的压电复合材料的超声波探测器。该探测器由压电振子、阻尼器、中继板和特高频（UHF）连接器构成。压电振子由4×4个（80μm×80μm×130μm）（长×宽×高）的锆钛酸铅（PZT）压电柱状阵列及阵列缝隙填充环氧树脂而构成。当压电振子施加高频交流电压时，柱状PZT阵列产生纵向伸缩运动，从而产生超声波并向介质辐射。作为填充材料的环氧树脂，能够吸收掉因柱状PZT阵列其他方向振动而引起的噪声，使探测器在纵向上能产生指向性良好的超声波，从而提高了该探测器的灵敏度。测试结果表明，该微压电探测器指向性好，灵敏度高，精度高和抗干扰性好，可应用在泥沙的含水量测量中。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王欢	上海应用技术学院理学院	18	29	3.0	4.0
2	李以贵	上海应用技术学院理学院	24	34	4.0	4.0
3	毕贞法	上海应用技术学院轨道交通学院	4	5	1.0	2.0
4	黄远	上海应用技术学院理学院	11	19	3.0	3.0
5	颜平	上海应用技术学院理学院	11	19	3.0	3.0