氟化镁基底上HfO2中间层对Al2O3薄膜微观组织和力学性能的影响

• 作者: 宋力昕 宋博 游丽君 赵丽丽 陈笑迎
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: HfO2中间层 Al2O3薄膜 微观组织 力学性能 氟化镁基底
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 779-784
• 页数: 6页
• 分类号: TQ174
• 字数: 617字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15541/jim20160030

摘要

采用电子束蒸镀技术在氟化镁基底上制备了单层 Al2O3薄膜和含有 HfO2中间层的 HfO2/Al2O3双层薄膜。在空气中对所制备的薄膜进行1 h 600℃的退火处理。通过掠入角X射线衍射仪(GIXRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)、傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)、纳米压痕和划痕法对薄膜的微观结构、红外透过率和力学性能进行了表征。结果表明：退火处理后HfO2/Al2O3双层薄膜中形成了一层树枝状的新层，这种新层的硬度大于17.5 GPa。这种高硬度的新层能够保护氟化镁基底不被划伤。从GIXRD图谱中只能找到单斜相HfO2的衍射峰，而Al2O3薄膜仍然保持非晶态。从这些结果中可以推断出HfO2从非晶态向单斜相的转变促进了这种树枝状新层的产生，也正是这种新层提高了保护薄膜的力学性能。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋力昕	中国科学院上海硅酸盐研究所特种无机涂层重点实验室	51	585	15.0	22.0
2	赵丽丽	中国科学院上海硅酸盐研究所特种无机涂层重点实验室	18	75	3.0	8.0
3	宋博	中国科学院上海硅酸盐研究所特种无机涂层重点实验室	6	36	2.0	6.0
7	陈笑迎	中国科学院上海硅酸盐研究所特种无机涂层重点实验室	3	2	1.0	1.0
8	游丽君	中国科学院上海硅酸盐研究所特种无机涂层重点实验室	3	2	1.0	1.0