基于负电晕放电原理的MEMS SF6气体传感器研究

• 作者: 张金英 李璐 郑天祥 陈硕
• 来源期刊: 智能电网
• 学科: 工学
• 关键词: 负电晕放电 SF6传感器 微机电系统 微电极阵列
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 传感与量测技术
• 页码范围: 618-622
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 3028字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14171/j.2095-5944.sg.2016.06.015

摘要

作为高压、特高压领域几乎唯一的绝缘和灭弧介质, SF6的泄漏对电力设备的安全运行和电力系统的稳定可靠造成威胁，而且还会造成人员伤害和大气污染的恶性后果。因此，电力设备对电气设备中SF6气体泄漏的监测必不可少。主要阐述基于负电晕放电原理的SF6传感器的基本原理、器件结构及性能；分析基于MEMS技术的微型SF6传感器的发展现状；设计制备MEMS SF6基本原理传感器的硅基微电极阵列，其中硅尖阵列间距为55μm，高度约为16μm，顶端曲率半径约为150 nm。基于以上微电极阵列组装负电晕放电器件并测试其伏安特性，验证其电晕放电趋势，可用于SF6气体检测。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈硕		8	27	4.0	4.0
2	张金英	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	6	9	2.0	2.0
3	郑天祥		3	6	1.0	2.0
4	李璐		3	6	1.0	2.0