ZnO薄膜声表面波型SF6气体传感器的研究

• 作者: 文常保 朱长纯 陈文会
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: ZnO薄膜 声表面波器件 SF6气体 气体传感器
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 专题研究
• 页码范围: 445-449,461
• 页数: 6页
• 分类号: TN65|TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.2008.04.014

摘要

提出了一种基于ZnO薄膜的声表面波型SF6气体传感器.将利用微乳液法制备的ZnO颗粒制作在声表面波器件上,形成了一种对SF6气体具有物理吸附和脱吸附作用的ZnO薄膜.应用小波函数加权的输入换能器和具有抑制体声波作用的多条耦合器到声表面波器件中,传感器的频率响应特性得到了提高.声表面波器件的双声路结构消除了因外界测量条件改变引起的测量误差,进一步提高了传感器的可靠性和准确性.实验结果表明,基于ZnO薄膜的声表面波型SF6气体传感器具有较好的重复性和较强的连续测量特性,在测量范围内对各种浓度的SF6气体具有好的响应特性,传感器在9(SF6)为0.5×10-6到20×10-6范围内的线性灵敏度大约为7.3 kHz/10-6,但对CO2、N2具有一定的交叉灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱长纯	西安交通大学电子与信息工程学院	215	2372	22.0	41.0
2	文常保	西安交通大学电子与信息工程学院	16	94	6.0	8.0
6	陈文会	西安交通大学电子与信息工程学院	26	148	8.0	11.0