基于二维PIC-DSMC的微间隙气体放电等离子体演化过程研究

• 作者: 尚绍环 徐翱 谈效华 金大志
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 物理学
• 关键词: 放电 网格质点法 直接模拟蒙特卡罗法 等离子体
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 1025-1030
• 页数: 6页
• 分类号: O461.1
• 字数: 3150字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2016.05.001

摘要

准确的理解微间隙气体放电中非平衡等离子随时间的演化过程对于设计气体开关、微电子及其它等离子体器件有着非常大的帮助。通过二维PIC-DSMC耦合算法模拟了一个大气压氮气环境下微间隙平板电极发生气体放电时电子及离子的运动演化过程，得到了气体放电过程中平板电极间电子和离子数密度分布随时间变化的趋势，讨论了阳极附近电子云的形成与演变、阴极附近存在的鞘层以及电子和离子的速度及温度分布，最后将模拟计算得到的击穿电压与帕邢曲线及相关实验结果进行了对比，为相关等离子体器件的进一步发展提供了理论基础。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谈效华	中国工程物理研究院电子工程研究所	44	237	9.0	13.0
2	金大志	中国工程物理研究院电子工程研究所	43	130	6.0	8.0
3	尚绍环	中国工程物理研究院电子工程研究所	11	53	4.0	7.0
4	徐翱	中国工程物理研究院电子工程研究所	20	91	4.0	9.0