纳米级“光学卡尺”

• 来源期刊: 光学精密机械
• 学科: 工学
• 关键词: 空间光学系统 纳米级 微电子集成电路 无损检测仪 卡尺 固体激光系统 超光滑表面 太阳能电池
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 页码范围: 35-35
• 页数: 1页
• 分类号: TH878

摘要

国家重点研发计划重大科学仪器设备开发项目“超光滑表面无损检测仪”研制工作在成都启动。未来其将广泛用于微电子集成电路、太阳能电池基片，及大型高功率固体激光系统、空间光学系统等设备检验检测。