脉冲电镀波形扰动对高厚径比通孔深镀能力影响研究

• 作者: 朱晨 柳祖善 陈蓓
• 来源期刊: 印制电路信息
• 学科: 工学
• 关键词: 反向脉冲电镀 深镀能力 波形 高厚径比
• 年，卷（期）: 2016,（z2）
• 所属期刊栏目: 电镀与涂覆
• 页码范围: 144-148
• 页数: 5页
• 分类号: TN41
• 字数: 2530字
• 语种: 中文

摘要

简述了脉冲电镀工艺的原理,对反向脉冲进行了详细介绍.本文对反向脉冲电镀中波形的扰动情况做了较详细探究,对不同阴极接线方式和震动方式对阴极飞巴波形的扰动进行了测试,进一步研究其对高厚径比通孔电镀能力的影响,并提出了相关作用机理.研究发现,通过控制脉冲电镀过程中施加于阴极飞巴波形的相对稳定,能够提升高厚径比通孔的镀通率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈蓓		49	66	4.0	5.0
2	柳祖善		6	4	1.0	2.0
3	朱晨		1	0	0.0	0.0