1.2m微晶主镜的新型支撑

• 作者: 刘昌华 吕天宇 明名 王洪浩 赵勇志 邵亮
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微晶主镜 主镜支撑 面形检测 模态测试 有限元分析
• 年，卷（期）: 2016,（10）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2462-2470
• 页数: 9页
• 分类号: TH751
• 字数: 4215字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162410.2462

摘要

针对1.2m微晶主镜,提出了基于6套柔性切向杆机构的侧向支撑与基于18点半柔性Whiffletree机构的轴向支撑相结合的新型主镜支撑方案,用于保证该主镜在较大温差范围以及不同俯仰角度下始终保持良好的面形精度及较高的系统刚度.分析了该机构的工作原理,实验测试了主镜的面形精度及支撑系统的模态.机构分析表明该支撑方式可有效保证主镜定位精度和面形精度,并具有热解耦能力;有限元分析确认系统具有良好的支撑性能;面形精度检测得出主镜光轴垂直面形精度RMS达15.25 nm,光轴水平面形精度RMS为20.75 nm,模态测试则获得主镜支撑系统的一阶固有频率为60.3 Hz.实测结果验证了该新型主镜支撑系统具有良好的面形保持能力及支撑刚度,分析结果与实测结果符合度较好,主镜光轴垂直和水平状态面形精度RMS的相对误差分别为14.0％和17.8％,一阶固有频率相对误差为1o.8％.得到的结果验证了有限元建模及分析的可信性,支撑系统设计方案的合理性及相关理论推导的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	明名	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	35	281	9.0	15.0
2	吕天宇	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	24	100	6.0	9.0
3	赵勇志	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	26	225	9.0	14.0
4	邵亮	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	18	228	9.0	14.0
5	刘昌华	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	9	46	5.0	6.0
6	王洪浩	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	12	2.0	3.0