多脉冲飞秒激光深小孔的加工

• 作者: 张晋平 胡梦宁 葛励成 陈玉萍 陈险峰
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光光学 激光加工 高深径比 双温模型 贝塞尔光束
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 激光加工与应用
• 页码范围: 88-94
• 页数: 7页
• 分类号: TN23
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201643.0403006

摘要

利用改进的双温模型理论,表征了多脉冲飞秒激光对厚的金属铝的烧蚀情况,并在实验上予以验证.用有限差分法对飞秒激光在金属铝表面烧蚀过程的温度场进行了三维数值模拟,预测了孔在激光能量密度、脉冲个数、激光束腰半径等不同激光参数作用下的孔径与深度.实验发现,激光能量密度和脉冲个数是影响小孔形貌的主要因素,且多脉冲烧蚀阈值明显低于单脉冲烧蚀阈值.讨论了准贝塞尔光束在最大准直距离内无衍射的特性,分析了贝塞尔光束对于深小孔加工的提升特性.