新型体声波传感器读出电路的实验验证

• 作者: 尹汐漾 高杨 黄振华
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: BAW传感器 薄膜体声波谐振器 读出电路 六端口网络 六端口反射计 矢量网络分析仪
• 年，卷（期）: 2016,（12）
• 所属期刊栏目: 传感器信号处理
• 页码范围: 1822-1826
• 页数: 5页
• 分类号: TN41|TN405|TM931
• 字数: 3224字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2016.12.007

摘要

为了实验验证此前通过仿真验证的基于六端口反射计的新型BAW传感器读出电路的方案的可行性,本文制作了新型BAW传感器读出电路并对其进行了测试.以串联谐振频率约为1.5 GHz的薄膜体声波谐振器(FBAR)为待测器件(DUT),设计、制作了一种能够满足该FBAR谐振频率测量带宽(1.3 GHz~1.7 GHz)要求的PCB上微带六端口网络和检波器,配合射频信号发生器和示波器,获得了模拟DUT(50ΩSMA匹配负载)的反射系数-频率(Γ-f)曲线测量结果.与矢量网络分析仪(VNA)的测量结果进行了对比,两者吻合较好,实验验证了"基于六端口反射计的BAW传感器读出电路"可用于FBAR谐振频率的测量.本文工作对实用化BAW传感器的研制和片上矢量网络分析仪(VNA-on-Chip)的设计都有借鉴意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄振华	西南科技大学信息工程学院	15	47	4.0	5.0
5	尹汐漾	西南科技大学信息工程学院	5	5	2.0	2.0