MEMS压力传感器电容读出电路

• 作者: 李荣宽 柳林刚 赵路坦
• 来源期刊: 微电子学与计算机
• 关键词: MEMS压力传感器 高精度 电容数字转换器 仿真
• 年，卷（期）: 2016,（12）
• 页码范围: 121-124,129
• 页数: 5页
• 分类号: TN4
• 语种: 中文

摘要

提出了新的一种用于MEMS压力传感器的电容数字转换方法．与传统的将电容值转换成电压值的方法不同，该方法是将微弱电容信号转换为时间间隔，然后通过计数器量化、数字滤波器处理，得到高精度、宽输入范围的电容读出电路．这种方法下的电路结构简单，受供电电压影响较小，具有很高的线性度．在cadence环境下，基于TSMC标准的BCD0．25μmCMOS工艺模型，对电路进行设计和仿真．该电路输入范围可达8 pF，分辨率为4 fF．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李荣宽	电子科技大学电子工程学院	17	57	4.0	7.0
2	柳林刚	电子科技大学电子工程学院	1	1	1.0	1.0
3	赵路坦	电子科技大学电子工程学院	1	1	1.0	1.0