MEMS压力传感器的可靠性评价方法

• 作者: 张德平 鲍芳
• 来源期刊: 电子产品可靠性与环境试验
• 关键词: 压力传感器 机械结构 可靠性评价
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 电子元器件与可靠性
• 页码范围: 61-66
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.4+1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-5468.2013.05.015

摘要

MEMS压力传感器是用半导体制造工艺制备的微机械器件,是一种包含各种物理和化学理论的复杂系统,因而在评估其可靠性时不仅要考虑到传统的电学性能,还应该考虑其特殊的机械结构、材料力学等方面的的可靠性评价方法.概述了MEMS传感器产品最主要的失效现象,并着重介绍了常用的可靠性评价标准和测试项目.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鲍芳		2	3	1.0	1.0
2	张德平		3	3	1.0	1.0