不同干涉仪检测光学元件功率谱密度的比较

• 作者: 张雪洁 杨相会 沈卫星 马晓君
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 功率谱密度 干涉仪 中频波面误差 仪器传递函数
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 112-119
• 页数: 8页
• 分类号: TH741
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201643.0904002

摘要

为了探究不同干涉仪对中频误差的响应规律,获得相对真实的功率谱密度(PSD)分布,分别利用4DAccuFiz、ZYGO DynaFiz以及ZYGO GPI三台干涉仪检测周期性波纹和划痕样品,并对一维实测PSD曲线进行对 比分析.结果表明,不同干涉仪对中高频信息的响应度不同;干涉仪分辨率越高,响应度越高.利用仪器传递函数(ITF)曲线对实测PSD分布进行了修正,获得了较为真实的PSD分布.在某些频率范围内,标定的ITF曲线和实际响应仍存在差异.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈卫星	中国科学院上海光学精密机械研究所	10	94	5.0	9.0
2	张雪洁	中国科学院上海光学精密机械研究所	9	1	1.0	1.0
3	杨相会	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	0	0.0	0.0
4	马晓君	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	0	0.0	0.0