铁铝阻抗匹配靶的精密扩散连接

• 作者: 唐杰 李朝阳 杨蒙生 邢丕峰 魏成富
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 铁 铝 铁铝薄膜 阻抗匹配靶 扩散连接
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 所属期刊栏目: ? 微纳技术与精密机械 ?
• 页码范围: 2738-2745
• 页数: 8页
• 分类号: O484
• 字数: 2719字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162411.2738

摘要

为了获得某些材料在在高压条件下的物态方程，制备了用于激光驱动状态方程实验的铁铝阻抗匹配靶，研究了铁铝薄膜的精密热扩散连接技术。以冷轧铁薄膜和超精密加工铝薄膜为原料，研究了热复合工艺条件对其表面形貌、结晶性能、连接界面等参数的影响。利用白光干涉共焦显微镜、X 射线衍射仪、膜厚测量仪、扫描电镜等仪器对靶件的表面形貌、厚度、结晶特性、残余应力及界面成分分布等进行分析表征，掌握了相关参数的变化趋势。据此优化工艺参数，制备了高质量的铁-铝阻抗匹配靶。对成靶的测试结果显示，其表面粗糙度小于100 nm 、厚度一致性控制在100 nm 以内、界面扩散层厚度约为200 nm ，且未观测到显微缺陷，满足物理实验的具体要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐杰		47	238	8.0	14.0
2	魏成富		56	205	7.0	12.0
3	邢丕峰	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	59	303	9.0	14.0
4	杨蒙生	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	17	53	3.0	7.0
5	李朝阳	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	25	184	9.0	12.0