主轴微细超声振动系统的微振幅测量

• 作者: 弓满锋 连海山 郭钟宁
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 微振幅 测量 微细超声振动系统 微三维运动平台 闭环控制
• 年，卷（期）: 2016,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 141-144
• 页数: 4页
• 分类号: TB55
• 字数: 2373字
• 语种: 中文

摘要

在微细超声加工与微细超声振动辅助加工中,微振幅是关键的加工参数,直接影响到加工精度与加工效率.对于只有几μm甚至更小的振幅,很难用传统的振幅测量方法测量出来.针对主轴微细超声振动系统输出的微振幅,提出了一种新的微振幅在线测量方法.利用精密微三维运动平台的高分辨率,将平台A轴的运动与微细工具所受实时力结合起来,使其形成闭环运动控制系统.通过设定相同的接触力,计算有超声与无超声作用于微细工具A轴坐标值的变化,即可获得微细工具的振幅值.应用这一新的振幅测量方法,成功地测量出精确到0.1μm的振幅值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭钟宁	广东工业大学机电工程学院	197	1090	16.0	23.0
2	弓满锋	岭南师范学院机电工程研究所	28	28	2.0	4.0
3	连海山	岭南师范学院机电工程研究所	26	13	2.0	2.0