Φ420 mm高次非球面透镜的加工与检测

• 作者: 孟晓辉 张继友 李文卿 王永刚 王聪
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 非球面透镜 光学加工 透镜加工 透镜检测 零位补偿 面形精度
• 年，卷（期）: 2016,（12）
• 所属期刊栏目: 高功能激光光学元器件
• 页码范围: 3068-3075
• 页数: 8页
• 分类号: TH703|TN305.2
• 字数: 5165字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162412.3068

摘要

介绍了Φ420 mm熔石英高次非球面透镜的加工与检测方法.对现有数控加工工艺进行了优化,通过分工序加工方式,依次采用机器人研磨、抛光和离子束修形技术完成了透镜的加工.进行非球面透镜检测时,考虑透镜的凹面为球面,利用球面波干涉仪对其面形进行了直接检测,剔除干涉仪标准镜镜头参考面误差后,透镜凹面的精度达到0.011λ-RMS;针对透镜的凸面为高次非球面,采用基于背后反射自准法的零位补偿技术对其进行面形检测,其精度达到0.013λ-RMS.最后,采用一块高精度标准球面镜对加工后透镜的透射波前进行了自消球差检测,得到其波前误差为0.013λ-RMS.试验结果表明,非球面透镜各项技术指标均满足设计要求.所述工艺方法亦适用于更大口径的非球面透镜及其他类型非球面光学元件的高精度加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟晓辉		7	19	3.0	4.0
2	王永刚		9	26	3.0	5.0
3	李文卿		4	15	2.0	3.0
4	王聪		6	15	2.0	3.0
5	张继友		18	102	6.0	9.0