利用多孔结构原理,研制了厚度为100μm、孔隙率为70%的纳米多孔铜靶,密度比为固体铜的30%。实验在中国工程物理研究院“星光Ⅲ”激光装置飞秒激光束上进行,激光功率密度大于1.6×1018 W/cm2,脉宽为30 fs。利用16 bit 单光子 CCD 获取了 X 射线能谱,测得铜 Kα线光子产额为2.9×108 photon· sr-1·s-1,转换效率为0.00838%。与压制加工的平面 Cu 靶相比,多孔结构靶的 X 射线产额约为平面靶的1.8倍,表明纳米多孔结构能够有效增强飞秒激光能量吸收,提高超热电子和 X 射线转化效率。