采用 Zygo 干涉仪测量 LCOS 相位调制特性的研究

• 作者: 吴建宏 朱力行 殷路安
• 来源期刊: 实验科学与技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 信息光学 液晶空间光调制器 纯相位调制 Zygo 干涉仪 调制特性
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 实 验 技 术
• 页码范围: 43-45,92
• 页数: 4页
• 分类号: O436.1|O753+.2
• 字数: 1298字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4550.2016.06.012

摘要

该文介绍了 LCOS 的基本结构和光波调制原理，当光波的偏振方向与液晶分子的光轴相一致时，LCOS 处于纯相位调制模式。介绍了 Zygo 干涉仪测量相位差的原理，针对北京杏林睿光公司生产的 RL －SLM－R2反射式纯相位 LCOS 采用美国 Zygo 干涉仪进行了相位调制特性测量，并根据干涉仪原理对结果进行修正，得到了准确的相位调制特性曲线，其调制范围为0～0．7154λ。该实验开创了一种新的相位调制度测量方法，对更好地使用液晶空间光调制器有重要意义。