针对当前光学镜片亚表面损伤的研究重点主要集中在加工工艺参数及磨粒粒径、分布等方面的现状,基于脆性材料压痕断裂理论,深入分析了加工过程所导致光学镜片亚表面损伤,对不同锐度角的磨粒在相同载荷不同加工速度下与光学镜片表面间的抛光过程进行了微观动态仿真。获得了在不同加工参数作用下磨头与镜片表面间的摩擦接触、应力应变分布及亚表面损伤等情况,归纳出亚表面损伤裂纹深度、亚表面损伤空穴深度、体积去除率、表面破损率、磨粒锐度角及磨抛速度等相关参数之间的关系,并得出如下结论:当磨粒锐度角为54°~58°,加工速度为7~8 m/s 时,加工后的镜片在保证一定加工效率的同时,产生的亚表面损伤及表面破损率最小。