MEMS流速仪流体动力学设计

• 作者: 刘婕 刘清惓 杨杰 董万钧 董波
• 来源期刊: 中国农村水利水电
• 学科: 农学
• 关键词: MEMS 在线测流 流速仪 计算流体动力学
• 年，卷（期）: 2016,（10）
• 所属期刊栏目: 灌区建设与管理
• 页码范围: 80-82
• 页数: 3页
• 分类号: TV91|S274.4
• 字数: 2624字
• 语种: 中文

摘要

针对 MEMS技术在流速测量的领域的应用，设计了一种基于 MEMS技术的在线流速仪。为了优化传感器探头结构设计与芯片选型，利用CFD方法建立流速仪的流体动力学模型，对其施加外部复杂对流-传热耦合热边界条件，进行流固耦合传热计算，得到不同直径的流速仪温度场分布。采用遗传算法对CFD方法计算结果进行拟合，建立了探头温度T与水流速度V及探头直径D 之间的修正方程。测试结果表明：传感器探头温度随着水流速度的增加而呈指数形式减小，随着探头外径的增加而减小。当水流速度小于0.1 m/s 时，探头温度随速度减小变化较快，即该量程范围内测量精度较高。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘清惓	南京信息工程大学电子与信息工程学院	42	91	5.0	7.0
2	杨杰	南京信息工程大学大气物理学院	10	13	2.0	3.0
3	董波		5	3	1.0	1.0
4	董万钧		5	8	2.0	2.0
5	刘婕		5	1	1.0	1.0