四氟化硅提纯方法重点专利申请现状研究

• 作者: 周倩 白璐
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 四氟化硅 提纯方法 专利申请 冷冻法
• 年，卷（期）: 2016,（20）
• 所属期刊栏目: 创新思维
• 页码范围: 32
• 页数: 1页
• 分类号: TQ127.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.15913/j.cnki.kjycx.2016.20.032

摘要

四氟化硅作为电子与半导体行业中的重要原料,在光伏产业中有着举足轻重的地位.就四氟化硅于2012年之前的提纯方法专利申请状况进行了分析,以期为四氟化硅的提出提供明确的研究方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周倩		13	8	2.0	2.0
2	白璐		4	4	1.0	1.0