钛表面辉光无氢渗碳电极结构尺寸优化及渗碳效果分析

• 作者: 姬寿长 张丽红 张树林 李争显 王浩楠 赵文
• 来源期刊: 钛工业进展
• 学科: 工学
• 关键词: 钛表面 空心阴极 电极结构 优化
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 页码范围: 31-36
• 页数: 6页
• 分类号: TB71+6
• 字数: 5397字
• 语种: 中文

摘要

针对钛表面辉光无氢渗碳技术中的电极结构,通过对辉光放电状态下等离子体中电子的作用分析,计算并优化了石墨源极与钛工件极距离、 工件极和源极尺寸以及放电气体压力的数值,得出源极与工件极距离为20~40 mm,工件极的尺寸大于20 mm,源极的尺寸大于40 mm,放电气体分压大于20 Pa时,可以使电子未碰撞及几率几乎为零,能够实现石墨源极的高效溅射,并通过试验对上述结果进行了论证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李争显		169	1281	19.0	26.0
2	张丽红		10	6	1.0	2.0
3	姬寿长		21	134	6.0	11.0
4	王浩楠		10	13	2.0	3.0
5	赵文		8	5	1.0	2.0
6	张树林		4	49	2.0	4.0