基于约瑟夫逊效应的高g值高分辨率加速度计的设计与仿真

• 作者: 段宏伟 郑文
• 来源期刊: 中北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 约瑟夫逊效应 硅压阻效应 加速度计 高过载 动态特性
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 自动化与计算机
• 页码范围: 341-347
• 页数: 7页
• 分类号: TP212
• 字数: 2875字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-3193.2017.03.016

摘要

针对目前压阻式加速度计分辨率不高的特点, 设计了一种基于约瑟夫逊效应与硅压阻效应相结合的检测高g值的微机械加速度计, 其具备信噪比低和分辨率高等优点.该加速度计采用四悬臂梁质量块结构, 在悬臂梁根部附近布置压敏电阻, 可将加速度输入转化成硅晶格的应变, 从而引起压阻器件的阻值变化, 并使测量电路的惠斯通电桥两端的电压发生变化, 将该电压通过约瑟夫逊效应原理测量出来, 则可反推出悬臂梁上所施加的力.通过Ansys软件对加速度计的静态及动态性能进行仿真, 得出该加速度计的量程为200 000 g, 带宽为220 kHz, 响应时间为1.09 μs, 分辨率小于1 g.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段宏伟	山西职业技术学院自动化系	6	4	2.0	2.0