纳米晶NbMoTaW难熔高熵合金薄膜力学性能及其热稳定性

• 作者: 冯骁斌 刘刚 孙军 张金钰
• 来源期刊: 精密成形工程
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米晶 高熵合金 薄膜 硬度 热稳定性
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 材料与成形性能
• 页码范围: 111-116
• 页数: 6页
• 分类号: TG146
• 字数: 3015字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-6457.2017.06.021

摘要

目的 研究高熵合金薄膜的形貌、结构、力学性能和热稳定性,并探究其潜在的应用价值.方法 选取不同厚度的纳米晶NbMoTaW难熔高熵合金薄膜作为研究对象,通过直流磁控溅射制备薄膜样品,采用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)进行薄膜形貌观测,利用能谱分析仪(EDS)和X射线衍射(XRD),对薄膜成分和结构进行分析,采用高分辨透射电子显微镜(HR-TEM)观测内部结构,利用纳米压痕仪和真空退火炉进行力学性能和热稳定性的检测.结果 NbMoTaW高熵合金薄膜为单相BCC结构,表面形貌和晶粒尺寸随薄膜厚度的变化而变化,随着薄膜厚度的减小,其硬度先增加后减小,在膜厚为250 nm时出现最大值(16.0 GPa).薄膜经过800℃、2 h的真空退火后,晶粒尺寸没有明显长大,同时硬度也没有明显下降,呈现出良好的热稳定性.结论 成功制备出热稳定性优异的纳米晶NbMoTaW难熔高熵合金薄膜,并通过调控薄膜的厚度来改变晶粒尺寸,从而研究高熵合金薄膜结构与性能之间的联系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙军	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	131	1148	18.0	28.0
2	刘刚	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	87	781	16.0	25.0
3	张金钰	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	11	12	3.0	3.0
4	冯骁斌	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	1	4	1.0	1.0