能量过滤磁控溅射技术制备叠层TiO2 薄膜的光催化性能

• 作者: 吴丹 夏雨 姚宁 潘志峰 赵遵杰
• 来源期刊: 郑州大学学报（理学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 能量过滤磁控溅射 直流磁控溅射 光催化 TiO2薄膜
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 页码范围: 61-65
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 1793字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13705/j.issn.1671-6841.2017007

摘要

叠层TiO2薄膜可提高薄膜的比表面积,从而提高薄膜的光催化效率.利用直流磁控溅射(DMS)和能量过滤磁控溅射(EFMS)技术分别制备了单层和叠层TiO2薄膜,并利用X射线衍射、扫描电镜、椭圆偏振光谱仪和紫外-可见分光光度计分析了薄膜的结构、形貌、光学特性和光催化性能.研究表明:与单层TiO2薄膜相比,叠层TiO2薄膜的晶粒尺寸更小、表面更加平整、光学带隙增大,紫外光照射2.5 h后,其对RhB溶液的光催化降解率为41.2%,为单层TiO2薄膜的2.4倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚宁	郑州大学物理工程学院	122	692	12.0	18.0
2	潘志峰	郑州大学物理工程学院	28	33	2.0	5.0
3	吴丹	郑州大学物理工程学院	16	32	3.0	4.0
4	夏雨	郑州大学物理工程学院	4	6	2.0	2.0
5	赵遵杰	郑州大学物理工程学院	4	6	2.0	2.0