新一代蚀刻气六氟-1,3-丁二烯的性质、制备和应用

• 作者: 于剑昆 张志勇
• 来源期刊: 化学推进剂与高分子材料
• 学科: 工学
• 关键词: 六氟丁二烯 全氟丁二烯 电子气体 蚀刻 性质 制备 应用
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 专论与综述
• 页码范围: 27-47
• 页数: 21页
• 分类号: TQ213
• 字数: 24077字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16572/j.issn1672-2191.201702005

摘要

详细介绍了电子工业用新一代蚀刻气六氟-1,3-丁二烯(HFBD)的性质、制备和提纯工艺,并指出了各种工艺的优缺点.同时介绍了HFBD的储运规范、应用情况以及国内外市场概况等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于剑昆		86	542	13.0	17.0
2	张志勇		10	94	5.0	9.0