容性耦合电负性氧等离子体的激光诱导光致剥离技术诊断研究

• 作者: 唐成双 杨郁 王俊 王涛 辛煜
• 来源期刊: 核聚变与等离子体物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光诱导光致剥离 电负性等离子体 空间电位 电负度
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 等离子体物理学
• 页码范围: 37-42
• 页数: 6页
• 分类号: O536|O461.2+4|O531
• 字数: 4344字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16568/j.0254-6086.201701007

摘要

采用波长532nm的高能脉冲激光束照射40.68MHz激发的容性耦合氧等离子体,并给处于激光束中央的探针施加一定的正偏压,由此诊断氧等离子体的空间电位和电负度.实验结果表明,探针偏压从0V逐渐增加时,探针搜集的电流波形从V型向倒U型转变,转变电压点正是电负性等离子体的空间电位.尝试着给出了运用激光诱导光致剥离技术诊断电负性等离子体空间电位的经验方法.另外,探针上施加的正偏压高于等离子体空间电位时,等离子体的电负度基本保持不变.实验还表明,氧等离子体的电负度随着射频输入功率的增加而呈现下降的趋势.