薄膜热电偶在高温下的防氧化机理

• 作者: 王博 王超杰 袁广民 陈鹏
• 来源期刊: 材料研究学报
• 学科: 工学
• 关键词: 材料表面与界面 薄膜热电偶 高温防氧化 氮氧化硅 保护膜
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 123-128
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.11901/1005.3093.2015.755

摘要

根据金属材料的高温氧化和防氧化特性,研究了不同保护膜对薄膜热电偶防氧化的机理,提出使用SiO2、SiOxNy薄膜作为抗氧化的保护膜.用磁控溅射法分别制备了具有SiO2和SiOxNy保护膜和无保护膜的NiCr-NiSi薄膜热电偶样品,并对三种样品进行高温热处理.结果表明,根据不同样品的XRD图谱中NiO峰的强度,在800℃高温下有SiOxNy保护膜的样品其抗氧化效果约为有SiO2保护膜样品的3～5倍.同时发现,在高温处理过程中SiOxNy薄膜发生轻微氧化使SiOxNy薄膜结构更致密,有利于提高SiOxNy薄膜对温度敏感薄膜的抗氧化性能.