MEMS微波/毫米波TaN薄膜负载电阻的设计与实现

• 作者: 李倩 杨志 杨拥军 汪蔚
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) TaN薄膜 负载电阻 毫米波 隔离器
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 336-341
• 页数: 6页
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2017.05.008

摘要

开展了一种基于MEMS工艺的微波/毫米波薄膜负载电阻的结构设计和工艺实现,该负载电阻选择TaN作为薄膜材料,高阻硅为基底材料,仿真设计并优化了三种新型结构,给出了一套MEMS TaN薄膜负载电阻制备的工艺流程,并针对该工艺流程方案进行了关键参数的工艺误差仿真,实现了适用于20～40 GHz频率内的三种MEMS TaN薄膜负载电阻的工艺制作和测试.测试结果表明,结构一、结构二和结构三的回波损耗分别小于-22,-18和-18.5 dB,并将结构一成功运用于32～34 GHz毫米波频段内的MEMS隔离器,MEMS隔离器的隔离度大于25 dB,插入损耗小于0.5 dB.MEMS TaN薄膜负载电阻具有很好的负载吸收功能,适合微波/毫米波通信发展需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨拥军	中国电子科技集团公司第十三研究所	44	220	7.0	13.0
2	杨志		9	50	4.0	7.0
3	李倩		3	10	1.0	3.0
4	汪蔚	中国电子科技集团公司第十三研究所	4	6	1.0	2.0