飞秒激光诱导金属银纳米布线加工精度的研究

• 作者: 张永来 柳森 王欢
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光制造 激光加工 银纳米布线 飞秒激光 图案化
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: "超快激光加工与微纳制造"专题
• 页码范围: 79-83
• 页数: 5页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201744.0102007

摘要

对飞秒激光诱导银纳米布线的加工精度进行研究,并将其应用于微纳器件的加工领域.对飞秒激光与银离子前驱体溶液的相互作用进行了实验,通过对飞秒激光功率、曝光时间、前驱体溶液中表面活性剂种类以及浓度的调控,利用扫描电子显微镜对布线结构进行表征,得到140 nm宽的银纳米线.利用飞秒激光制备出一组银微纳图案和微型催化反应器.该研究为银微纳结构图案制备以及复杂衬底上金属功能器件集成提供了新的技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张永来		4	30	1.0	4.0
2	王欢		80	408	10.0	18.0
3	柳森		1	0	0.0	0.0