基于线阵CCD的高精度位移传感器前端设计

• 作者: 任成 廖平 杨小雨
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 位移传感器 线阵CCD 激光三角法 驱动时序 信号处理
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 光电进展
• 页码范围: 498-504
• 页数: 7页
• 分类号: TH741
• 字数: 3011字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2017.05.004

摘要

为了实现对微小位移的高精度非接触测量,设计了一种基于线阵CCD的高精度位移传感器前端模块.运用激光三角测量法设计了光学镜头,利用FPGA产生线阵CCD所需的驱动时序,CCD输出的一维视频信号经过前置电路处理后得到稳定的模拟信号,供数字电路进行处理.系统具有结构简单、体积小、输出信号稳定、分辨率高、测量精度高等特点.实验测试表明,该传感器前端模块输出模拟信号稳定,干扰小,计算得到最大量程为±15 mm,精度可达到20μm,能广泛应用于微小位移的精密测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	廖平	中南大学高性能复杂制造国家重点实验室	80	640	14.0	22.0
2	杨小雨	中南大学高性能复杂制造国家重点实验室	2	9	2.0	2.0
3	任成	中南大学高性能复杂制造国家重点实验室	2	9	2.0	2.0