金刚石薄膜与硬质合金刀具膜-基结合性能研究进展

• 作者: 唐永炳 王陶 黄磊
• 来源期刊: 集成技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 化学气相沉积 膜-基结合力
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 页码范围: 29-37
• 页数: 9页
• 分类号: TG156
• 字数: 5276字
• 语种: 中文

摘要

薄膜与基体间的界面结合性能是决定薄膜性能的关键因素.如何提高膜-基界面结合强度,保证刀具正常使用寿命,已成为金刚石涂层工具产业化亟待解决的主要问题.文章综述了影响金刚石薄膜附着性能的主要因素,总结了近年来在金刚石薄膜与基体间附着力研究方面的主要进展,并对金刚石薄膜未来发展趋势进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄磊	中国科学院深圳先进技术研究院功能薄膜材料研究中心	72	1531	18.0	38.0
2	唐永炳	中国科学院深圳先进技术研究院功能薄膜材料研究中心	13	20	3.0	3.0
3	王陶	中国科学院深圳先进技术研究院功能薄膜材料研究中心	7	109	4.0	7.0