插指电极掩膜的设计与制造

• 作者: 杨丽娥
• 来源期刊: 沈阳工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 插指电极 透明掩膜 光刻 光刻胶 喷墨打印 AutoCAD软件 蚀刻 太阳能电池
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 机械工程
• 页码范围: 159-164
• 页数: 6页
• 分类号: TN305
• 字数: 2572字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7688/j.issn.1000-1646.2017.02.08

摘要

针对插指电极制造中所涉及的掩膜制备复杂以及高成本问题,提出了一种插指电极透明掩膜的制造方法.通过AutoCAD软件设计了指形、螺旋形和方形三种不同图案的插指电极,采用透明纸和喷墨打印机将插指电极图案制造成透明掩膜,利用常规光刻技术将透明掩膜上的插指电极图案转移至硅片上的铝金属层,利用高倍显微镜对插指电极图案及插指电极进行观察.通过将本方法应用于太阳能电池,并对太阳能电池的电学特性进行测试,证实了本方法在太阳能电池领域的实用性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨丽娥	云南开放大学机电工程学院	12	12	2.0	2.0