基于反射差分显微术的有机薄膜空间均一性研究

• 作者: 李艳宁 沈万福 胡小唐 胡春光 霍树春
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 反射差分显微术 各向异性 薄膜质量 偏振光学
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 页码范围: 756-760
• 页数: 5页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2148字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2017.06.020

摘要

有机薄膜半导体器件在微电子和光电子领域具有重要的研究与应用价值,其成膜质量是影响器件性能的重要因素,如空间分布的均一性.采用反射差分显微测量方法,对各向异性基底上生长的并五苯薄膜的反射差分显微图像进行分析,研究了该薄膜参数空间分布的非均一性,同时展示了反射差分显微术在薄膜制备检测及工艺研究的应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
2	李艳宁	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	45	211	8.0	11.0
3	胡春光	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	37	333	10.0	16.0
4	霍树春	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	2	5	1.0	2.0
6	沈万福	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	2	5	1.0	2.0