基于纳米时栅传感器安装偏差的测量精度分析研究

• 作者: 但敏 吴玉梅 樊星辰 王合文 郑方燕
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米测量 时栅 安装 误差理论
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 230-235
• 页数: 6页
• 分类号: TH7
• 字数: 3420字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2017.02.011

摘要

为了解析安装参数与测量精度的关系,根据纳米时栅的基本测量原理,构建出与动、定尺间距d0和正对面积变化量ΔS相关的数学模型.通过理论推导,分析了动尺在yz平面倾斜、xy平面偏转时会导致两路驻波幅值不等、相位偏移,从而给测量结果带来二次误差.实验结果表明通过调整动尺在yz平面与xy平面上的安装,对极内原始误差由4.86μm降低至0.84μm,证明动尺在yz平面倾斜、xy平面偏转为产生二次误差的主要原因.在行程200mm测量范围内,传感器误差峰峰值为400nm.实验结果验证了理论分析的正确性,该分析为传感器结构参数优化和实验方法的改进提供了有力的支撑,为进一步提升传感器精度提供了可靠的理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑方燕	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室	62	440	12.0	16.0
2	王合文	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室	1	5	1.0	1.0
3	吴玉梅	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室	3	8	2.0	2.0
4	但敏	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室	5	15	3.0	3.0