一种适用于原位纳米力学测试的AFM测头

• 作者: 刘璐 吴森 曾荟燕 李艳宁 胡晓东
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米力学 原子力显微镜 压电扫描器 光杠杆 电容传感器
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 纳米技术
• 页码范围: 93-99
• 页数: 7页
• 分类号: TH823
• 字数: 3874字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13494/j.npe.20150002

摘要

设计并制作了一种适用于原位纳米力学测试的原子力显微镜(AFM)测头.测头由光学检测系统和Z向压电陶瓷微位移机构组成.其中光学检测系统采用光杠杆与显微镜同轴光路检测探针形变,压电位移机构内置电容传感器可实现探针进给量的闭环控制.标定实验表明该测头闭环位移分辨力优于10 nm,在标定范围内具有很好的线性.利用该测头对某型微悬臂梁法向弹性常数进行了测量,测得值与采用具有溯源性的标定方法所得结果一致.