采用HRTEM对石墨烯材料单层厚度测量的研究

• 作者: 景蔚萱 李磊 林启敬 王琛英 蒋庄德 韩枫
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 石墨烯材料 单层厚度 纳米级高度 高分辨透射电子显微镜 不确定度
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 页码范围: 145-148
• 页数: 4页
• 分类号: TB921
• 字数: 2835字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2017.02.04

摘要

将石墨烯材料薄膜制成可以通过高分辨透射电子显微镜(HRTEM) 观察的横截面样,在室温20 ℃,变换放大倍数,通过HRTEM自带的测量软件得到的单次测量值为0.411 nm,同时可以看到石墨烯材料形貌较清晰,其剖面结构并不是理想的笔直直线.通过局部剪切图和增大间隙图,提取石墨烯材料单层的边缘数据.通过直方图法获得其单层厚度的测量值,厚度均值为0.390 nm,厚度重复性测量不确定度为0.042 nm.在置信水平为95％的条件下,计算得到石墨烯材料的单层厚度为(0.390±0.086) nm.相对石墨烯厚度的公称值,石墨烯材料的单层厚度偏大,分析认为石墨烯材料层与层之间紧密连接度不够,造成单层厚度与石墨烯厚度存在差异.