红外显微热成像系统研究及应用

• 作者: 吴之茂 姜杰 岳静静 木二珍 罗宏 胡志宇
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 红外热成像 红外探测器 红外显微热成像系统
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 973-978
• 页数: 6页
• 分类号: TN219
• 字数: 3751字
• 语种: 中文

摘要

红外显微热成像系统基于红外热成像、红外图像处理和光学显微技术,能够分析微小物体或局部细节的温度变化,具有无损检测、灵敏度高等优点.对红外显微热成像系统的研究背景进行了概括,介绍了它的基本原理和系统组成,总结了红外显微热成像系统的研究现状及其在微电子器件检测、医学诊断、科学实验研究等方面的应用进展,对其存在的问题进行了分析,并且展望了红外显微热成像系统的未来发展趋势.