基于相敏检波和位置探测器的位移检测系统

• 作者: 李岩 陈博 黄沛
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 位置检测 相敏检波 2维位置敏感探测器
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 235-239
• 页数: 5页
• 分类号: TN247|TL814
• 字数: 3026字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2017.02.018

摘要

为了实现对微小位移的测量,研制了一套基于单模光纤输出半导体激光器和2维位置敏感探测器的位移检测系统,可以有效地抑制环境光噪声.对半导体激光器的注入电流进行1kHz的调制,实现输出光功率的调制.在信号处理电路中,采用相敏检波技术,解调探测器的输出交流信号,得出光斑能量中心位置,消除外界干扰.结果表明,测量精度优于1μm.这一结果对于多自由度误差检测是有帮助的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李岩	清华大学精密仪器系	75	955	17.0	28.0
2	陈博		10	34	4.0	5.0
3	黄沛	清华大学精密仪器系	2	9	1.0	2.0