基于Zernike多项式拟合三平面互检的误差分析

• 作者: 刘丙才 岳鑫 李世杰 李晋惠 田爱玲 高飞
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 绝对检测 干涉法 Zernike多项式 测量误差 计算仿真
• 年，卷（期）: 2017,（9）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量,度量学
• 页码范围: 181-188
• 页数: 8页
• 分类号: TH744.3|O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20174609.0912008

摘要

基于Zernike多项式拟合三平面互检法,在理论上对光轴偏离、旋转角度以及有效面积对不同面型精度平面的测量误差进行了分析,并分别进行了实验验证.研究结果表明,旋转角度误差和有效面积对测量影响不敏感,可适当降低标定旋转角度成本;而光轴偏离对测量精度影响明显,在高精度面型绝对检测中应对其进行严格校准.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晋惠	西安工业大学理学院	46	575	13.0	22.0
5	刘丙才	西安工业大学光电工程学院	39	122	7.0	8.0
6	田爱玲	西安工业大学光电工程学院	64	392	11.0	16.0
7	岳鑫	西安工业大学光电工程学院	7	24	4.0	4.0
8	高飞	西安工业大学理学院	6	8	2.0	2.0
9	李世杰	西安工业大学光电工程学院	4	7	2.0	2.0