非晶态TiO2薄膜用于HMP45D温湿传感器的Pt100电阻保护层

• 作者: 张占文
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: Pt100电阻 TiO2薄膜 光催化 溶胶-凝胶
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 617-621,649
• 页数: 6页
• 分类号: TB43
• 字数: 4696字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14136/j.cnki.issn 1673-2812.2017.04.020

摘要

用Pt100薄膜电阻代替金属铂电阻可提高HMP45D温度传感器的精度和响应速度,但面临稳定性下降的问题.我们采用溶胶-凝胶方法在Pt100薄膜电阻表面生成TiO2保护膜,研究表明,非晶态TiO2保护膜具有良好的光催化活性,镀了TiO2保护膜的Pt100电阻可获得逼近Callendar-Van Dusen方程的电阻-温度特性,其温度系数在使用180天后仍能保持原来的97.79％.因此,非晶态TiO2保护膜在提高Pt100薄膜电阻工作稳定性和使用耐久性方面具有很高的应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张占文		6	1	1.0	1.0