单排差动结构的新型纳米时栅位移传感器

• 作者: 于治成 刘小康 彭凯 蒲红吉 郑方燕
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米时栅 电容式位移传感器 单排结构 差动感应极片
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 734-740
• 页数: 7页
• 分类号: TH7
• 字数: 2463字
• 语种: 中文

摘要

在双排结构纳米时栅位移传感器的研究基础上,提出了一种单排差动结构的新型纳米时栅位移传感器.通过直接构造一个匀速运动的交变电场来产生行波信号,解决了双排结构所具有的串扰问题和安装问题;采用差动感应极片来拾取信号,可有效地消除共模干扰.用微纳加工工艺制作了一种多层薄膜的单排差动结构的纳米时栅传感器样机并进行了性能测试,最终在200 mm的量程范围内取得了±150 nm的测量精度.对比双排结构的纳米时栅传感器,这种新型的纳米时栅传感器测量精度、信号稳定性及抗干扰能力得到明显的提高,并且在尺寸减小的同时拓展了有效量程,因此在产品化的过程中更具有应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑方燕	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	62	440	12.0	16.0
2	刘小康	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	16	252	10.0	15.0
3	彭凯	重庆大学机械传动国家重点实验室	4	67	3.0	4.0
4	于治成	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	1	15	1.0	1.0
5	蒲红吉	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	1	15	1.0	1.0