皮秒激光烧蚀K9玻璃后表面损伤研究

• 作者: 孙明营 时双 朱健强 潘雪 郝艳飞
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光制造 后表面损伤 皮秒激光 烧蚀 K9玻璃
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: "超快激光加工与微纳制造"专题
• 页码范围: 127-136
• 页数: 10页
• 分类号: O437
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201744.0102015

摘要

考察了利用皮秒激光烧蚀切割K9玻璃过程中后表面的烧蚀损伤现象,比较了前、后表面的烧蚀特性,分析了激光能量密度、扫描次数和扫描速度等因素对后表面损伤的影响.根据后表面烧蚀形貌和质量,优化了激光单行单次扫描时的激光能量密度和扫描速度等参数.讨论了后表面烧蚀损伤的机理,提出了抑制后表面损伤的方法.实验结果表明,激光聚焦在前表面进行烧蚀切割时,后表面会出现严重的烧蚀损伤,且后表面烧蚀形貌和规律与前表面的显著不同.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱健强	中国科学院上海光学精密机械研究所	147	1132	17.0	31.0
2	潘雪	中国科学院上海光学精密机械研究所	10	8	1.0	2.0
3	孙明营	中国科学院上海光学精密机械研究所	5	0	0.0	0.0
4	郝艳飞	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	0	0.0	0.0
5	时双	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	0	0.0	0.0