应用于等离子体环境的反射镜损耗的实时测量

• 作者: 刘新 左毅娟 朱良建 王涛 白满社 翟亮 苏宇 陈静
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 反射镜 实时测量 损耗 等离子体 气体放电
• 年，卷（期）: 2017,（7）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量与计量
• 页码范围: 139-143
• 页数: 5页
• 分类号: O436.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201737.0712001

摘要

设计并搭建了一套反射镜损耗增量的实时测量系统,实验得到反射镜损耗变化曲线.结果表明,该系统能有效地监测反射镜损耗在等离子体环境中变化的过程,并揭示损耗变化规律,并发现实际损耗增量和与等离子体作用后的自然放置时间密切相关;改变放电电流和腔体气压,损耗增量幅度明显不同.测量结果为等离子体作用下反射镜损耗变化机理的研究提供了实验依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王涛		9	2	1.0	1.0
2	陈静		13	29	3.0	5.0
3	白满社		3	2	1.0	1.0
4	翟亮		1	0	0.0	0.0
5	左毅娟		1	0	0.0	0.0
6	苏宇		1	0	0.0	0.0
7	刘新		1	0	0.0	0.0
8	朱良建		1	0	0.0	0.0