基于可调法珀腔的微型智能近红外光谱仪研究

• 作者: 夏维高 张恩阳 闫晓剑
• 来源期刊: 自动化与仪器仪表
• 学科: 工学
• 关键词: 光谱传感器 法珀腔 近红外光谱仪 微机电系统
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 材料与装置
• 页码范围: 207-209
• 页数: 3页
• 分类号: TNT16
• 语种: 中文
• DOI: 10.14016/j.cnki.1001-9227.2017.10.207

摘要

基于MEMS(微机电系统)光谱传感器开发了一款微型智能近红外光谱仪,通过控制微机电法珀腔的两层高反射率薄膜之间的电压,改变薄膜之间静电力的大小来控制薄膜之间空气隙的厚度,从而实现时间顺序的干涉滤波;采用漫反射式光谱采样系统,设计了照度均匀的Φ40mm近红外采样光斑和二片式非球面光学系统;光谱仪采用智能手机控制,开发了Android平台的光谱采集软件,将光谱数据通过移动网络上传到光谱云平台进行分析处理.针对聚苯乙烯薄膜进行了光谱扫描的重复性测试,连续测试20次,光谱曲线标准偏差在0.0001-0.0002之间,光敏二极管温升1.3℃,满足实际使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫晓剑		2	3	1.0	1.0
2	张恩阳		6	13	2.0	3.0
3	夏维高		1	3	1.0	1.0