基于光学性能评价自由曲面离轴三反系统加工误差分析

• 作者: 刘现磊 张效栋 徐航宇 曾臻
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 制造公差 加工误差 光学性能 面形误差 离轴三反系统 调制传递函数
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量与计量
• 页码范围: 184-192
• 页数: 9页
• 分类号: TH161+.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201737.0812005

摘要

超精密加工过程存在的加工误差影响着器件的面形误差,进而影响光学性能.制造者往往从面形精度方面来评价加工精度,但是光学性能才是光学系统的最终评价指标,仅仅关注加工过程中加工误差对单个面的面形误差影响是不够的,加工误差对系统光学性能的影响需要进一步研究.基于多体系统理论和光线追迹理论建立了加工误差影响分析模型,探索了加工误差对面形误差和光学性能的影响,得出了系统主要的面形误差形式及其对系统调制传递函数(MTF)的影响关系,并根据系统对光学性能的要求得出了加工误差、面形误差和角度公差,从而找到了影响三反系统光学性能的重点加工误差,研究结果可为离轴三反系统加工误差的控制及光学质量可控制造的实现提供理论指导.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张效栋		29	254	8.0	15.0
2	曾臻		2	7	1.0	2.0
3	刘现磊		2	0	0.0	0.0
4	徐航宇		1	0	0.0	0.0