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酸洗提纯AlN粉体的研究
酸洗提纯AlN粉体的研究
作者:
王传彬
王广阳
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
AlN粉体
酸洗提纯
金属杂质
氧含量
摘要:
氮化铝(AlN)粉体中的金属杂质与氧化是影响其纯度和性能发挥的主要因素,而酸洗是提纯AlN粉体的有效手段.实验采用磷酸(H3 PO4)、硝酸(HNO3)、氢氟酸(HF)和盐酸(HCl)对AlN粉体进行酸洗提纯,主要研究了酸洗过程中酸液的选择与配比对提纯效果的影响.实验结果表明:这四种酸均显著降低了AlN粉体表面的金属杂质含量,而HF和HNO3的混合酸具有更好的提纯效果,特别能降低其中的Na、W、Fe等金属杂质,而且还可通过HF与Al2O3的反应有效去除氧杂质.HF/HNO3酸液的适宜配比为HF:HNO3=2:1,在该条件下酸洗后的AlN粉体中,金属杂质含量均下降到100 ppm以下,氧含量仅为1.2wt%.
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篇名
酸洗提纯AlN粉体的研究
来源期刊
硅酸盐通报
学科
工学
关键词
AlN粉体
酸洗提纯
金属杂质
氧含量
年,卷(期)
2017,(11)
所属期刊栏目
试验与技术
研究方向
页码范围
3920-3924
页数
5页
分类号
TQ174
字数
2153字
语种
中文
DOI
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王传彬
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硅酸盐通报
主办单位:
中国硅酸盐学会
中材人工晶体研究院有限公司
出版周期:
月刊
ISSN:
1001-1625
CN:
11-5440/TQ
开本:
16开
出版地:
北京市朝阳区东坝红松园1号中材人工晶体研究院733信箱
邮发代号:
80-774
创刊时间:
1980
语种:
chi
出版文献量(篇)
8598
总下载数(次)
10
总被引数(次)
58151
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