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摘要:
氮化铝(AlN)粉体中的金属杂质与氧化是影响其纯度和性能发挥的主要因素,而酸洗是提纯AlN粉体的有效手段.实验采用磷酸(H3 PO4)、硝酸(HNO3)、氢氟酸(HF)和盐酸(HCl)对AlN粉体进行酸洗提纯,主要研究了酸洗过程中酸液的选择与配比对提纯效果的影响.实验结果表明:这四种酸均显著降低了AlN粉体表面的金属杂质含量,而HF和HNO3的混合酸具有更好的提纯效果,特别能降低其中的Na、W、Fe等金属杂质,而且还可通过HF与Al2O3的反应有效去除氧杂质.HF/HNO3酸液的适宜配比为HF:HNO3=2:1,在该条件下酸洗后的AlN粉体中,金属杂质含量均下降到100 ppm以下,氧含量仅为1.2wt%.
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文献信息
篇名 酸洗提纯AlN粉体的研究
来源期刊 硅酸盐通报 学科 工学
关键词 AlN粉体 酸洗提纯 金属杂质 氧含量
年,卷(期) 2017,(11) 所属期刊栏目 试验与技术
研究方向 页码范围 3920-3924
页数 5页 分类号 TQ174
字数 2153字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王传彬 武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室 51 285 9.0 15.0
2 王广阳 武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室 1 0 0.0 0.0
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硅酸盐通报
月刊
1001-1625
11-5440/TQ
16开
北京市朝阳区东坝红松园1号中材人工晶体研究院733信箱
80-774
1980
chi
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