热膜式气体流量传感器异物污染流场仿真分析

• 作者: 孙中圣 李小宁 袁昌荣
• 来源期刊: 机械制造与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 气动 MEMS热膜式流量传感器 异物堆积 流速变化
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 页码范围: 89-91
• 页数: 3页
• 分类号: TP391.9
• 字数: 1173字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2017.04.024

摘要

为研究MEMS热膜式流量传感器异物污染后的测量精度变化与污染程度的关系,通过试验分析了芯片表面污染物分布情况,建立了异物堆积模拟示意图.采用fluent流体分析软件,研究了异物堆积后MEMS芯片表面流速的变化.通过分析可知,当有异物堆积时,芯片表面附近区域流速会发生变化,比无异物堆积时变小,且速度差随入口速度的增加而增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李小宁	南京理工大学机械工程学院	117	782	14.0	21.0
2	孙中圣	南京理工大学机械工程学院	24	101	5.0	9.0
3	袁昌荣	南京理工大学机械工程学院	4	3	1.0	1.0