多焦点激光分离厚透明材料

• 作者: 上官赢 刘朋 张军军 段军 白克强
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光光学 激光切割分离 多焦点 透明材料 裂纹控制法
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: 激光制造
• 页码范围: 97-104
• 页数: 8页
• 分类号: TN24
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201744.1102008

摘要

基于激光热裂纹控制法,提出了多焦点激光分离厚透明材料的方法.通过理论计算与ZEMAX软件模拟相结合的方式,设计了能形成三个焦点的光路系统,并利用该系统进行了夹层玻璃、磷酸二氢钾(KDP)晶体、超白玻璃等透明材料的切割分离实验.结果表明,利用该方法得到的表面平整光滑,无亚表面损伤,粗糙度小,有效解决了单个激光焦点热裂纹分离方法受材料厚度限制的问题,该方法具有很大的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段军		20	176	8.0	13.0
2	刘朋		5	6	1.0	2.0
3	上官赢		1	0	0.0	0.0
4	张军军		1	0	0.0	0.0
5	白克强		3	11	2.0	3.0