基于扫描反射镜调制的调焦调平系统测试方法研究

• 作者: 庄亚政 陈小娟 齐景超
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 物理学
• 关键词: 调焦调平 扫描反射镜调制 纳米级测量 三角测量原理
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 45-47
• 页数: 3页
• 分类号: O435
• 字数: 1466字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2017)10-0045-03

摘要

针对投影光刻的特点,研究了一种基于扫描反射镜调制和三角测量原理的调焦调平系统.该系统遵循向甫鲁(SC)成像条件,并通过检测投影光斑相对于探测狭缝的位移量衡量硅片面的离焦量.同时,利用扫描反射镜的光学载波调制,提高系统的抗干扰能力.实验结果表明:系统拥有纳米(nm)级的测量精度,且具有采样频率高、非接触、多光斑布局方便等特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	庄亚政	上海交通大学电子信息与电气工程学院	1	2	1.0	1.0
5	齐景超		1	2	1.0	1.0
6	陈小娟		1	2	1.0	1.0